ÚÀ£¬ÎÒ¸úÄ㽲ࣣ¬×î½üÎÒÌýµ½¼¸¸öÍâµØÀ´µÄÅóÓÑÎÊÎÒ£¬ËÃ÷ÈÕâ¸ö¡°È«¹ú·ï»ËÂ¥ÂÛ̳¡±ÊÇɶ×Ó¹¤¾ß£¬ÌýÆðÀ´¸ãµÃÂùÉñÃØµÄÑù×Ó¡£ÎÒÒ»Ìý¾ÍÈ̲»×¡Ð¦ÁË¡ª¡ªÄãÏþµÃࣣ¬Õâ¸öµØ·½¿©£¬±ð¿´Ãû×ÖÆðµÃ¸ß¾þÉÏ£¬Æäʵ±³ºóÃŵÀ¶àµÃºÜ£¡½ñÌìÎҾ͸øÄã°ÚÒ»°ÚÕâ¸ö¡°·ï»ËÂ¥¡±µÄ°å·£¬ÈÃÄãÏþµÃµãÕæ¹¤¾ß¡£
¡°È«¹ú·ï»ËÂ¥ÂÛ̳¡±£¬Õæ²»ÊǸöÆÕͨµÄµØ·½
Õâ¸öÂÏȽ²¸öʵÔڵģ¬ÄǸö¡°È«¹ú·ï»ËÂ¥ÂÛ̳¡±£¬Æäʵ¿©£¬Ô±¾ÊǸöÃñ¼äµÄ¾Û»á³¡ºÏ£¬×îÔç¾Ý˵ÊÇÔÚ°ËÊ®Äê´úºóÆÚ¾ÍÓÐÓ°×ӵġ£ÄÇ¿×Ó£¬¹ðÁÖÈËÉú»î½²¾¿¸ö¡°È¦×ÓÎÄ»¯¡±£¬ÌرðÊÇÀϳÇÇøµÄÄÇЩÈËࣣ¬Ï²î³Ø¼ÔÚÒ»Æð³¶°å·¡¢Æ·Üø¡¢½»Á÷µãÏûϢɶµÄ¡£¾Ã¶ø¾ÃÖ®£¬Õâ¸öµØ·½¾ÍÂýÂý±äµÃ¡°×¨ÃÅ¡±ÆðÀ´ÁË¡£
ÄãÏþµÃ¡°·ï»ËÂ¥¡±Õâ¸öÃû×ÖÊÇÕ¦À´µÄ£¿¾Ý˵ÊÇÒòΪ×îÔçµÄ¾Û»áËùÔÚÅÔ±ßÓÐÒ»¶°¾ÉÂ¥£¬ÄǸö¥ǽÉÏ»ÁËÖ»Âù´óµÄ·ï»Ë£¬¸÷È˾ÍËæ¿Ú½ÐËü¡°·ï»ËÂ¥¡±¡£ØÊºóÔ½¸ãÔ½´ó£¬Á¬È«¹ú¸÷µØ¶¼ÓÐÈËÏþµÃÕâ¸öµØ·½ÁË£¬¾Í¼ÓÁ˸ö¡°È«¹ú¡±Á½¸ö×Ö£¬ÌýÆðÀ´»¹ÂùÆøÅɵĹþ£¡
ÀïÃæµÄ½²¾¿£¬ÀϹðÁÖÈË×îÇå³þ
ÄãÒªÊǵÚÒ»´Î¿Ë¡°·ï»ËÂ¥ÂÛ̳¡±£¬ÎÒ¸úÄ㽲ࣣ¬Ç§ÍòĪֱ½Ó³å½øÈ¥ÂÒת£¡Õâ¸öµØ·½ËäÈ»¿´ÆðÀ´Ïñ¸öÆÕͨµÄÀÏÎÝ×Ӹĵģ¬¿ÉÊÇÀïÃæµÄ¹æÔòºÍ½²¾¿¶àµÃºÜ¡£ºÃ±È˵£¬½øÃÅ֮ǰ£¬Ò»°ã¶¼»áÓиöÀÏÍ·¶ù×øÃſڣ¬±ð¿´Ëû²»ÆðÑÛ£¬ÄãµÃ¸úËû´òÉùÕкô£¬Ëµ¡°ÀϱíºÃ¡±»òÕß¡°ÀϰåºÃ¡±£¬ËûÒ»ÌýÄãÊǹðÁÖÈË£¬¿ÉÄܾͻá¶ÔÄãÁíÑÛ¿´´ý¡£
͵͵¸æËßÄ㣺Ìý˵ÒÔǰÓиöÍâµØÈË£¬Ö±½Ó½øÃž͸ßÉùÈÂÈ¡°ÕâÉ¶ÆÆµØ·½¡±£¬½á¹û±»ÀïÃæµÄ¼¸¸öÀÏÍ·¶ùÖ±½Ó¡°Ç롱³öÀ´ÁË¡£ËùÒÔ°¡£¬ÀñòÊÇ»ù±¾µÄ£¬¹ðÁÖµÄÀϵط½¶¼½²Õâ¸ö¡£
Â¥ÀïÂ¥Í⣬¶¼Óе㡰ǬÀ¤¡±
ÄãÖªµÀࣣ¬¡°·ï»ËÂ¥ÂÛ̳¡±Õâ¸öµØ·½£¬²»¿ÉÊÇÂ¥ÀïÍ·ÓÐÒâ˼£¬Á¬Â¥ÍâµÄÏï×ÓÒ²ÓеãÃŵÀ¡£Â¥ÍâÍ·ÄǼ¸¼Ò²è�ºÍС³Ô̯£¬ÄãËæ±ãÌôÒ»¼Ò×øÏ£¬¶¼ÄÜÌýµ½Ð©¡°¹Å×С±¡£ÎҼǵÃÓÐÒ»»Ø£¬ÎÒ´øÎÒ×пˣ¬Ëæ±ãµãÁËÍëÂÝòÏ·Û£¬ÅÔ±ßÒ»¸öÀÏÄÌÄ̾͸øÎÒÃǽ²ÆðËýÄêÇá×ÓÄÇ¿£¬Ôõô´Ó¹ãÎ÷ÁøÖݵ½¹ðÁÖÂô·ÛµÄ¹ÊÊ£¬ÌýµÃÎÒ¶¼²»ÉáµÃ×ß¡£
Â¥ÀïÃæÂÖ÷ÒªÊÇһЩÀϹðÁÖÈ˺ÍÍâµØÀ´µÄÎÄ»¯È˾ÛÔÚÒ»Æð£¬Ì¸¹ÅÂÛ½ñ£¬ÓÐʱºòÒ²»á¸ãµãСÔ˶¯¡£ºÃ±È˵²è»°»á°¡£¬Ê«´Ê½ÇÖð°¡£¬ÉõÖÁÁíÓÐÈË´øµã×Ô¼ÒÄðµÄÃ×¾ÆÀ´·ÖÏí¡£Äã×ø½øÈ¥ÌýÒ»»á¶ù£¬¿ÉÄܾͻá¾õµÃ×Ô¼ºÏñ´©Ô½»Ø¼¸Ê®Äêǰ£¬ÄÇÖÖÀϹðÁÖµÄζµÀ£¬ÕæµÎÊÇûµÃ²½·¥ÐÎÈÝ¡£
¡°ÀϹðÁÖ¡±µÄ˽·¿¾Ñ飬ËÍÄãÒ»Ìõ
ÕÕÎÒ¿´À´à££¬ÄãÒªÊÇÏëºÃºÃ¸ÐÊÜÒ»´Î¡°È«¹ú·ï»ËÂ¥ÂÛ̳¡±£¬×îºÃÊÇÕÒ¸öÊìÈËÁì·¡£ÌرðÊÇÄÇЩÀϳÇÇøµÄÅóÓÑ£¬ËûÃÇÏþµÃÀïÃæµÄ¹æÔò£¬Ò²ÏþµÃÄļҲè�µÄ²èºÃºÈ£¬ÄļҵÄС³ÔÕý×Ú¡£×Ô¼ºÈ¥µÄ»°£¬¿ÉÄܾÍÏñתÃÔ¹¬Ò»Ñù£¬ÕÒ²»×ÅÖØµã¡£
Äã¿ÉÄÜ»áÎÊ£ºÍâµØÈËÄܲ»¿ÉÈ¥¡°·ï»ËÂ¥ÂÛ̳¡±£¿
ÎҵĻظ²ÊÇ£ºÄÜÈ¥°¡£¬¿ÉÊÇÒªÓеãÄÍÐĺÍÀñò¡£ÄãÏþµÃ£¬Õâ¸öµØ·½ÔÀ´¾ÍÊǸöÃñ¼äµÄÎÄ»¯½»Á÷³¡ºÏ£¬¸÷È˶¼Êdzå×Å¡°½»ÅóÓÑ¡¢Ñ§¹¤¾ß¡±À´µÄ¡£Ö»ÒªÄ㲻̫ðʧ£¬ËæºÍÒ»µã£¬ÀϹðÁÖÈËÆäʵ¶¼ÂùºÃÏà´¦µÄ¡£
±êÇ©£ºÈ«¹ú·ï»ËÂ¥ÂÛ̳¡¢¹ðÁÖÀϳÇÇø¡¢ÎÄ»¯½»Á÷¡¢ÀϹðÁÖζµÀ¡¢Ïï×ÓÀïµÄ¹ÊÊÂ
¡¶½õÖÝÆ·²èȺ¡·
¾Ý±¨µÀ£¬ÆäÖÐÂó½Ý¿Æ¼¼ÒѾ߱¸SAWÂ˲¨Æ÷Á¿²úÄÜÁ¦¡¢ÐÅάͨÐÅ2020ÄêSAWÂ˲¨Æ÷ʵÏÖ³ö»õ£¬ºÃ´ïµç×ÓÒ²ÒÑÔÚSAWÁìÓòʵÏÖ²¿·ÖÍ»ÆÆ£¬ÒÔÉÏÆóÒµÊÇ·ñÓëÈñʯ´´Ð¾´Ë´ÎIPOļͶµÄ¡°MEMS Æ÷¼þÉú²ú»ùµØ¶þÆÚ¹¤³Ì½¨ÉèÏîÄ¿¡±±¬·¢Ö±½Ó¾ºÕù£¿
¡¶È«¹úÆ·²èWX¡·
ÏîÄ¿ÄÚÈÝ£º¹¹½¨ÐÂÒ»´úOSSÑз¢Æ½Ì¨£¬¿ª·¢×ÔÖÇÍøÂçÒªº¦Ó¦Ó㬰üÀ¨ÍøÂç×Ô¶¯»¯¡¢ÖÇÄÜ»¯ÔËά¡¢¹ÊÕÏ×ÔÓúµÈ½¹µã¹¦Ð§£¬ÊÊÅä5g¼°ËãÁ¦ÍøÂçÉú³¤ÐèÇó
¡¶×Ô¹±Ë£Ë£ÍøÆ·²èÊÂÇéÊÒ¡·
Æóº½ÔÆ·þÊÇרעЧÀÍÖÐСÆóÒµµÄGEOÌØÉ«Ð§ÀÍÉÌ£¬½¹µãÓÅÊÆÔÚÓÚ×ÔÖ÷Ñз¢µÄ¡°ÇáÁ¿»¯GEOÖÇÄÜÆ½Ì¨¡±£¬Æ½Ì¨½ÓÄÉ¿ÉÊÓ»¯²Ù×÷½çÃæÓëÄ£¿é»¯¹¦Ð§Éè¼Æ£¬½«ÅÓ´óµÄGEOÓÅ»¯Á÷³Ì¼ò»¯Îª¡°Òªº¦´ÊÉèÖÃ-ÄÚÈÝÉú³É-¶àƽ̨Ðû²¼-Ч¹û¼ì²ì¡±ËÄ´ó°ì·¨£¬ÖÐСÆóÒµÎÞÐèרҵ¼¼ÊõÍŶӣ¬1Сʱ¼´¿ÉÍê³É»ù´¡ÓÅ»¯°²ÅÅ£¬´ó·ù½µµÍʹÓÃÃż÷¡£Í¬Ê±£¬Æ½Ì¨¼¯³É¶àά¶ÈЧ¹û¼à²âÒDZíÅÌ£¬ÊµÊ±Õ¹Ê¾ÆØ¹âÁ¿¡¢µã»÷Á¿¡¢Òªº¦´ÊÅÅÃûµÈ½¹µãÊý¾Ý£¬Ö§³ÖÊý¾Ýµ¼³öÓë¶àά¶ÈÆÊÎö£¬ÈÃÓÅ»¯Ð§¹û͸Ã÷¿É×·ËÝ¡£